ESDP变螺距干式螺杆真空泵
- ESDP variable pitch dry screw vacuum pump
■ ESDP干式螺杆真空泵优点及特征
1.吸入效率(提升15%)。
2.排气效率改善(2级可变,连续可变频率)。
3.极限压力:1*10-2Torr(托)。
4.排气温度降低50%。
5.电力消耗减少30%。
6.不使用油和水,不会造成油和水的污染。
7.低功耗、低噪音、低振动,动平衡好,没有惯性力,可高速运行。
8.设计结构简单,易保养,维修费用低,寿命长。
9.适用范围广,具有高真空性能。
10.使用寿命长,气体接触部位都具有聚四氟乙烯、镍和哈氏合金涂层(部分工艺可选用特种材质解决腐蚀问题)。
11.唇型密封和机械密封等多种密封方式,满足不同的工艺应用。
12.前后采用稀有润滑方式,提高轴承耐用性。
■ ESDP干式螺杆真空泵概述
极限压力完全无油无水
ESDP干式螺杆真空泵使用了独特的螺杆转子型线,动力节省30%,排气温度低,工艺稳定,干式螺杆泵产品适用于各种领域的真空工艺,也维持了**佳的真空效率和耐用性。
ESDP系列不使用油和水,用可变压缩方式操作,水蒸气和液态混合工艺,非常适合干燥,溶剂回收,化工,制药,塑料等各种真空工艺。
■ ESDP干式螺杆泵的应用范围
●ESDP系列在半导体合成及液晶生产上的应用,主要有半导体等离子增强气相沉淀(PECVD)和反映离子刻蚀(RIE)工艺,液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中。此工艺要求返流为0,以保护工件免受污染。
● 在石油化工中,主要是抽取可凝性气体,或有毒气体,或腐蚀性气体,或含有微尘的气体。
●制药行业,用于药物的真空干燥,药物中间体回收,回收气体消毒剂,为人造器官提供清洁无菌条件等。
●化工中用于真空蒸馏及溶剂萃取回收,例如萃取回收丙酮,多元醇等工艺
●工业排气;集中式真空处理系统
●挤出机的混合工艺及板材的排气工艺
●混合树脂脱腥工艺;在脂肪酸生产中用于消除水污染,及喷射器中的阻塞物
●食品行业用于香料、香精浓缩,食品包装等。
■ ESDP干式螺杆真空泵技术参数
型号 | 抽气量 | 极限压力 | 电机功率 | 转速 | 进气 | 排气 | 冷却水量 | 噪声 | 重量 |
M3/h | Pa | KW | rpm | mm | mm | L/min | dB | Kg | |
ESDP320 | 260 | 1.33 | 7.5 | 2900 | 65 | 50 | 10 | 80 | 320 |
ESDP430 | 360 | 1.33 | 11 | 2900 | 65 | 50 | 12 | 80 | 380 |
ESDP650 | 540 | 1.33 | 15 | 2900 | 80 | 65 | 12 | 80 | 580 |
ESDP900 | 750 | 1.33 | 18.5 | 2900 | 100 | 65 | 20 | 80 | 680 |
ESDP1500 | 1400 | 1.33 | 37 | 2900 | 125 | 80 | 30 | 82 | 950 |
如需得到更为详细的信息,请咨询客服。
■ ESDP干式螺杆真空泵标准配件
基座和防护罩
排气消声器及进气分离器
吸气口
止回阀
真空计
■ ESDP干式螺杆真空泵可选配件
吸滤器
排气冷凝器
吸入式气液分离器
流量开关及温度开关